MEMS激光雷达综述.pdfVIP

40卷第1期微电子学与计算机Vol.40No.1

2023年1月MICROELECTRONICSCOMPUTERJanuary2023

引用格式:乔大勇，苑伟政,任勇.MEMS激光雷达综述[J].微电子学与计算机,2023,40(1):41-49.[QIAODY,YUANW乙

RENY.ReviewofMEMSLiDAR[J].MicroelectronicsComputer,2023,40(1)：41-49]DOI：10.19304/J.ISSN1000-

7180.2022.0803

MEMS激光雷达综述

乔大勇，苑伟政，任勇彳

(1西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室，陕西西安710072;

2西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室，陕西西安710072；

3西安知微传感技术有限公司，陕西西安710075)

摘要：近年人工智能飞速发展，自动驾驶、智能驾驶已进入产业元年.激光雷达技术作为最为重要的自动驾驶视

觉感知设备,正在进行不断的发展与迭代.本文旨在介绍激光雷达及其国内外研究现状.文中着重介绍了MEMS固

态激光雷达的核心部件MEMS微振镜的技术参数及指标，如视场角、光学孔径、扫描速度、扫描频率、MEMS微振

镜尺寸以及品质因数.最终汇总了车载激光雷达的应用现状,展望车载激光雷达的未来与发展.

关键词：激光雷达;MEMS激光雷达;MEMS微振镜

中图分类号：TN958.98文献标识码：A文章编号：1000-7180(2023)01-0041-09

ReviewofMEMSLiDAR

QIAODayong12,YUANWeizheng1,2,RENYong3

(1KeyLaboratoryofMicro/NanoSystemsforAerospace,MinistryofEducation,

NorthwesternPolytechnicalUniversity,Xian710072,China；

2ShaanxiProvinceKeyLaboratoryofMicroandNanoElectro-MechanicalSystems,

NorthwesternPolytechnicalUniversity,Xian710072,China；

3XianZhisensorTechnologyLTD,Xian710075,China)

Abstract:WiththerapidprogressofAl,autonomousdrivingandintelligentdrivinghavesteppedthefirstyearofthe

industry.Asthemostimportantsensorinautomaticdriving,LiDARtechnologyisdevelopinganditeratingcontinuously.

ThispaperintroducesLiDAR,theresearchstatushomeandabroad,andthekeypointsandfutureofMEMSsolid-state

LiDAR.Thispaperintroducesthetechn