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2023-12-20 发布于四川
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一种导电均匀石墨烯薄膜的无缝转移方法.pdf

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本发明公开了一种导电均匀石墨烯薄膜的无缝转移方法，传统方法以PMMA为载体，将长有CVD石墨烯的金属催化剂衬底化学刻蚀后，PMMA/石墨烯会被转移至绝缘基底，并进一步去除PMMA使石墨烯暴露充当电极。但去除PMMA过程会导致石墨烯破损，严重影响石墨烯的导电均匀性。相比之下本方法的明显优势在于，可以将石墨烯朝上的石墨烯/PMMA一起转移至目标基底，使石墨烯直接充当电极，无需去除PMMA，从而完全避免了石墨烯破损对薄膜导电通道的不良影响，最终获得高性能导电均匀石墨烯透明薄膜。本发明提供的这种导电均匀

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117253654A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202210672212.9C01B32/194(2017.01)

(22)申请日2022.06

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