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2023-12-27 发布于四川
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一种光学邻近校正方法及系统、设备以及存储介质，方法包括：获取周期性区域，周期性区域包括多个阵列式排布的周期性重复的最小重复单元，沿行方向最小重复单元的重复周期为第一周期，沿列方向最小重复单元的重复周期为第二周期；在版图图形层中，利用同色标记标注出沿行方向之间间距为第一周期、以及沿列方向之间间距为第二周期的相邻主图形，同色标记用于标注拆分至同一光罩上的主图形；基于拆分标记和同色标记、以及光罩的拆分数量，对版图图形层中的多个主图形进行图形拆分处理，用于将多个主图形拆分至多张光罩中。本发明实施例保障拆

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117289550A

(43)申请公布日2023.12.26

(21)申请号202210689008.8

(22)申请日2022.06.17

(71)申请人中芯国际集成电路制造（上海）有限

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