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本实用新型公开了一种晶圆载具POD增加Purge，包括装置本体，所述装置本体包括存储箱体、安装顶盖和搬运把手，所述存储箱体呈矩形状结构且内部为中空式结构，所述安装顶盖固定在存储箱体顶部，所述搬运把手设有一组，一组所述搬运把手分别安装在存储箱体左右量端；所述安装顶盖呈方形结构，所述安装顶盖顶部设有一组呈对称方式分布的连接口，所述连接口内设有氮气装置接口。该种装置可以提高晶圆保护箱内空气的洁净度，还可以控制箱内的湿度，进一步达到了对晶圆的保护。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220253198U
(45)授权公告日2023.12.26
(21)申请号202321482809.3
(22)申请日2023.06.12
(73)专利权人浙江赛瑾半导体科技有限公司
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