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本发明提供一种微型原子氧密度传感器，涉及空间环境探测技术领域。该微型原子氧密度传感器包括基底、支撑层、下绝缘层、上绝缘层、加热及测温电阻薄膜、加热及测温引线窗口、传感电极和纳米氧化锌薄膜。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合，可实现空间原子氧密度的在轨连续监测，具有高灵敏度、高寿命、快速响应、小尺寸、低功耗等优点。该传感器可用于地面模拟设备原子氧密度和空间环境中的原子氧密度探测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117309674A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202310952457.1
(22)申请日2023.07.31
(71)申请人兰州空间技术物理研究所
地址7
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