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2024-01-06 发布于四川
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一种多功能传感器及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种多功能传感器及其制备方法，该传感器包括衬底和外围电路、温敏单元、湿敏单元、压敏单元和加热单元；温敏单元设置于衬底上，其通过与温敏单元连接的第一电极组，与外围电路电连接；湿敏单元设置于衬底上，其通过与湿敏单元连接的第二电极组，与外围电路电连接；加热单元环绕湿敏单元并设置于衬底上，其通过与加热单元连接的第三电极组，与外围电路电连接；压敏单元环绕加热单元并设置于衬底上，其通过与压敏单元连接的第四电极组，与外围电路电连接。本发明提供的多功能传感器，其湿敏单元可在低温高湿状况下快速去除凝结

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117346836A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311302581.X

(22)申请日2023.10.09

(71)申请人广州德芯半导体科技有限公司

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