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具有加热的喷头组件的基板处理腔室.pdfVIP

具有加热的喷头组件的基板处理腔室.pdf

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    本文提供了用于处理基板的设备。在一些实施方式中，喷头组件包括：气体分配板，气体分配板具有多个孔；保持器，保持器具有壁、径向向内延伸的凸缘、和径向向外延伸的凸缘，所述径向向内延伸的凸缘从壁的下部延伸且耦接至气体分配板，所述径向向外延伸的凸缘从壁的上部延伸，其中壁具有在约0.015英寸与约0.2英寸之间的厚度；和加热设备，所述加热设备设置在气体分配板上方并且与气体分配板间隔开，其中加热设备包括加热器，加热器配置以加热气体分配板。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111095514A

    (43)申请公布日

    2020.05.01

    (21)申请号20188

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