20240112-西部证券-京仪装备-688652-首次覆盖：国内半导体温控设备龙头，乘风破浪未来可期.pdfVIP

公司深度研究|京仪装备

国内半导体温控设备龙头，乘风破浪未来可期证券研究报告

2024年01月12日

京仪装备（688652.SH）首次覆盖

核心结论公司评级增持

股票代码688652.SH

半导体温控设备壁垒高、竞争格局好。半导体专用温控设备对半导体设备使用

前次评级--

的循环液的温度、流量和压力进行精密控制，以实现半导体工艺制程的控温需求，

评级变动首次

是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备，温控精度和温控范围要求高，应用

当前价格57.8

在刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影、离子注入、CMP等设备，其中2022年刻蚀（61%）、

薄膜沉积（18%）、涂胶显影（10%）三大环节占比最高。根据QYResearch，近一年股价走势

2022年我国约6成的半导体专用温控设备市场被海外厂商所占据，2018-2022京仪装备半导体设备

沪深300

年CR6在90%左右，国内市场参与者包括京仪装备、SMC、ATS等，京仪装

42%

备为唯一一家国内厂商，2022年京仪装备市占率排名第一，市场份额约36%。32%

22%

京仪打破国外垄断，是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备大规模装机12%

2%

应用的设备制造商，也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备大-8%

规模装机应用的设备制造商，2022年分别实现市占率35.73%、15.57%，在国-18%

2023-012023-052023-09

内市场分别排名第一、第四。公司技术水平国内领先，温控设备在14-90nm逻

辑芯片和64-192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤已大规模量产，分析师

客户包括长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等

贺茂飞S0800521110001

国内主流集成电路制造产线。

中国大陆本土晶圆代工产