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本发明涉及显示技术领域,公开了一种显影装置及显影方法,显示装置的第一储液槽内的显影液供给给第一显影槽、第二显影槽和第三显影槽,第二储液槽内的显影液供给给第四显影槽,第一显影槽内的显影液一部分通过第一直排管路直接排走,另一部分回流至第一储液槽,第二显影槽和第三显影槽内的显影液全部回流至第一储液槽,第四显影槽内与第一显影槽直接排走的等量显影液回流至第一储液槽,另一部分回流至第二储液槽,第三储液槽向第二储液槽补充显影液,第四储液槽和纯水供给管路根据浓度情况利用高浓度显影液原液或水进行补充调节,从而不必
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117406565A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311565016.2
(22)申请日2023.11.22
(71)申请人苏州晶洲装备科技有限公司
地址
原创力文档


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