一种提升铝阳极氧化膜抗氟腐蚀性的方法.pdfVIP

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2024-01-24 发布于四川
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一种提升铝阳极氧化膜抗氟腐蚀性的方法.pdf

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本发明属于材料科学技术领域，尤其涉及一种提升铝阳极氧化膜抗氟腐蚀性的方法，该方法包含：首先，将铝材依次进行热处理、电解抛光、去离子水洗净、阳极氧化处理以得到初始铝阳极氧化膜；其次，将初始铝氧化膜进行封孔处理得到铝阳极氧化膜，再次，将铝阳极氧化膜经电感耦合式电浆通入四氟甲烷气体后进行蚀刻以获得经蚀刻铝阳极氧化膜；最后检测经蚀刻铝阳极氧化膜的介电强度及表面型貌，通过蚀刻处理来提升铝阳极氧化膜的抗氟腐蚀性能，并通过检测经蚀刻铝阳极氧化膜的介电强度和表面型貌来评估其改善效果。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117431602A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311267173.5G01N27/22(2006.01)