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本发明属于分子泵马达保护技术领域,具体涉及一种局域定位结构的分子泵马达保护装置,包括泵壳体,所述泵壳体中的气室外壁上连通有出气口,所述泵壳体中可拆卸连接有输气装置,所述泵壳体中设置有防护套与保护机构。该局域定位结构的分子泵马达保护装置通过防护套与保护机构的使用,使该分子泵马达在进行安装后,固定螺栓挤压顶杆向上移动,在铰接杆的作用下,使推杆带动滑块移动,进而使横杆向转轴的方向运动,在防护套与转轴的凹环口向对准后,防护套卡进转轴的凹环口中,使得泵壳体中空气的杂质在通过转轴的缝隙进入到防护套后,能够自
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117439327A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311126760.2F04D29/64(2006.01)
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