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2024-01-31 发布于四川
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一种自动式晶圆分选取料结构.pdf

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本实用新型涉及晶圆分选取料技术领域，具体为一种自动式晶圆分选取料结构，包括操作台，以及固定在操作台外壁两侧的分选机构，所述分选机构的一侧设置有取料机构；所述分选机构包括承载筒。本实用新型经限位杆和限位板便于把晶圆限位在承载筒内，避免出现交错混乱不便于取料，经电动推杆带动衔接板，经穿出口穿入承载筒，并贴合在最下层的晶圆，同时经贴合板组成的凹槽与晶圆相吻合，同时贴合板一侧的锥形块，便于推动晶圆上升后随即滑落至贴合板内，从而便于衔接板复位时带动晶圆脱离承载筒，同时穿出口的大小与衔接板和晶圆的厚度吻合，

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220406363U

(45)授权公告日2024.01.30

(21)申请号202321896714.6

(22)申请日2023.07.18

(73)专利权人江苏弘琪工业自动化有限公司

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