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本申请提供了一种反射镜面形控制结构及光束线装置，涉及同步辐射及自由电子激光技术领域。反射镜面形控制结构包括光学元件及冷却补偿模组，光学元件设有反射面及冷却槽，冷却槽中设有冷却液，冷却补偿模组包括冷却管道、冷却板及多个电加热片，冷却板设置于冷却管道，且插入在冷却液中不与冷却槽接触，冷却板的长度大于冷却管道的长度；多个电加热片设置于冷却板上，且沿冷却板的长度方向分布。本申请提供的反射镜面形控制结构通过冷却和温度补偿相结合的方式，消除反射面吸收热功率后的温度梯度，有效地控制反射面的面形，满足新一代光源
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114967036A
(43)申请公布日2022.08.30
(21)申请号202210614690.4
(22)申请日2022.05.30
(71)申请人深圳综合粒子设施研究院
地址51
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