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本实用新型公开了一种平面基板贴合及分离装置，包括支架、第一驱动组件、第二驱动组件、第一吸片组件、第二吸片组件和分片机构，第一驱动组件安装在支架上，第二驱动组件和第二吸片组件连接第一驱动组件，第一吸片组件连接在第二驱动组件上，第一吸片组件用于吸附硅片组中的一个硅片，第二吸片组件用于吸附硅片组的另一个硅片，第一驱动组件用于带动第一吸片组件和第二吸片组件沿平行于硅片板面方向相向运动或背向运动，第二驱动组件用于带动第一吸片组件沿垂直于硅片板面方向移动，分片机构用于将硅片组的两个硅片分离。本实用新型的平面
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456379U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321754911.4
(22)申请日2023.07.05
(73)专利权人深圳市捷佳伟创
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