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本实用新型公开一种薄膜沉积设备及冷却结构，涉及太阳能电池制造技术领域。其中冷却结构包括液冷板，液冷板的内部设置有供冷却液流动的冷却通道，液冷板的至少一侧表面具有多个凹孔；吸热薄膜，液冷板具有凹孔的该侧表面覆盖有吸热薄膜。由于吸热薄膜覆盖液冷板具有凹孔的该侧表面，吸热薄膜对电磁波的吸收效果好，反射率低，因此液冷板表面覆盖吸热薄膜可以吸收更多的热量，同时凹孔的设置增加了液冷板表面的吸热面积以便于吸收更多热量，提高了冷却效果和冷却效率。薄膜沉积设备包括上述冷却结构。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220450281U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321781538.1C23C16/458(2006.01)
(22)申请日2023.07
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