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本发明提供了一种研磨砂轮修整装置和研磨砂轮修整方法，涉及半导体技术领域，研磨砂轮修整装置，包括：设置于所述研磨砂轮的沟槽一侧的拍摄设备，所述拍摄设备用于拍摄所述沟槽的图像；用于对所述沟槽进行修整的整形器；与所述整形器和所述拍摄设备分别连接的控制设备，所述控制设备用于获取所述沟槽的图像，在所述沟槽的图像不满足预设图像要求的情况下，控制所述整形器对所述沟槽进行修整。本发明方案，可以摆脱人为主观判断沟槽的形状是否满足要求而产生的差异，实现自动化修整，使得修整工艺简单，降低修整成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117564939A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311764267.3
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司
地
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