热处理装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.56万字
约 19页
2024-02-24 发布于四川
举报
版权申诉

热处理装置.pdf

1、本文档共19页，其中可免费阅读18页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供热处理装置，提供能够提高热处理的均匀性的技术。本公开的一技术方案的热处理装置具备：处理容器，具有下端开口的有顶的圆筒形状，在内部形成第1空间；盖，封闭下端的开口；支承部，贯穿盖地设置，支承部具有轴部和位于轴部的上部的载置部；晶圆舟，设置在载置部之上，多张基板在上下方向上排列成多层地保持于晶圆舟；划分构件，与载置部的下表面之间空开间隙地设于轴部的周围，划分构件形成相对于第1空间划分而成的第2空间；绝热件，设于第2空间，在处理容器的侧壁的局部设有排气口，间隙具有在处理容器的周向上至少包括设

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117594479A

(43)申请公布日2024.02.23

(21)申请号202310976829.4

(22)申请日2023.08.04

(30)优先权数据

2022-131128202

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

热处理装置.pdfVIP