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2024-03-02 发布于四川
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一种卡盘平行度校准方法及卡盘平行度校准设备.pdf

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本申请公开了一种卡盘平行度校准方法及卡盘平行度校准设备，属于制造设备领域，该方法包括：当检测到脉冲控制器输出的执行脉冲数的指令时，控制各马达移动下卡盘；下卡盘背离上卡盘的表面设置有至少三个马达；马达不全在同一直线上；脉冲数是移动下卡盘至触碰到上卡盘后使马达的电流信号超出预设值时，马达执行的理论脉冲数；下卡盘触碰到上卡盘后，当检测到马达的电流信号超出预设值时，控制各马达停止工作；通过脉冲控制器检测马达停止工作后执行的实际脉冲数；根据实际脉冲数和理论脉冲数的差值，对马达的原点位置进行补偿，以校准下卡

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117629055A

(43)申请公布日2024.03.01

(21)申请号202311659551.4

(22)申请日2023.12.05

(71)申请人星钥（珠海）半导体有限公司

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