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摘要
行走式压电直线电机建模及迭代滑模复合控制方法
行走式压电平台以行走式压电直线电机为核心部件，克服了普通叠堆式压电
平台行程小的缺点，同时拥有更为精确的分辨率，因此逐渐受到高精度制造领域
的青睐。本文以行走式压电直线电机为研究对象，完成了对整个行走式压电平台
的机理特性分析、模型辨识以及跟踪控制工作。文章的主要内容如下：
根据实际需求搭建了行走式压电实验平台，首先对行走式压电直线电机的作
动机理和实验条件进行简要介绍。接着选择了合适的阶跃、正弦以及扫频激励信
号
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