一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备.pdfVIP

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2024-03-09 发布于四川
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一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备.pdf

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本发明公开了一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备，属于原子层沉积技术领域。该装备集成了压力系统、温度系统和流量系统，实现了化学气相沉积过程的全程自动化控制，在压力控制上，引入阀门经验开启角度，能够快速的接近目标压力，大大提高响应时间；进一步设计了非连续角度控制算法，针对化学气相沉积过程的大压力控制，也能够实现较高的控制精度。进一步的，该装备还设置有原位表征系统，通过相应的装置实现了化学沉积过程中样品沉积情况的实时检测。进一步的，本申请设置了炉膛移动轨道，可以在完成生产过程等待散热的环节

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117660944A

(43)申请公布日2024.03.08

(21)申请号202410122778.3

(22)申请日2024.01.30

(71)申请人浙江大学

地址310058

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