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一种利用热对流作用防止微粒附着于基板的固晶方法，包括下列步骤：一基板设置于一吸盘上，基板的表面无锡球且无铜柱；一加热装置对基板加热，基板的表面温度比基板周围的空气的温度高，使得基板周围的空气产生热对流作用；拾取一晶粒，晶粒的表面无锡球且无铜柱；以及将晶粒放置在基板上。由此，本发明能够利用空气的热对流作用阻止微粒靠近基板的表面，防止微粒附着于基板，使得晶粒的底面能够与基板的顶面紧密贴合，挑拣或辨识等晶粒的后续加工程序完全不会受到微粒的影响，提升后续加工制成的产品良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117672903A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202211026633.0
(22)申请日2022.08.25
(71)申请人梭特科技股份有限公司
地址中国
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