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一种片状样品工作台.pdfVIP

一种片状样品工作台.pdf

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    本实用新型提供了一种片状样品工作台，属于样品工作台技术领域；片状样品工作台包括：安装法兰、升降机构、连接板、升降杆、托板、支撑轴、弹簧、片状样品盘、吊架和激振器；通过使弹簧的两端分别与支撑轴和片状样品盘相连接，以实现支撑轴通过弹簧对片状样品盘进行支撑，从而使片状样品片处于不平稳的状态。通过使激振器驱动输出轴对片状样品盘进行振动，以实现片状样品盘能够发生上下振动，从而使样品在镀膜过程中，脱离与片状样品盘的底部，以便于对样品的底部进行镀膜，进而提升样品成膜的均匀性。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220564709U

    (45)授权公告日2024.03.08

    (21)申请号202322069675.9

    (22)申请日2023.08.03

    (73)专利权人沈阳腾鳌真空技术有限公司

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