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基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究的任务书
任务名称：基于MEMS技术的无阀压电微泵的研究
任务背景：随着微机电系统（MEMS）技术的发展，微流体控制技术在医疗、生物分析、环境监测等领域得到广泛应用。其中，微泵是微流控系统中不可或缺的重要组成部分。压电微泵具有特殊的优点，如低功耗、快速响应、长寿命、易于集成。而无阀微泵是使用起来更加便捷、效率更高的微泵类型。因此本任务需要研究基于MEMS技术的无阀压电微泵，发掘其在微流道系统中的应用潜力。
任务目标：研究基于MEMS技术的无阀压电微泵的设计、制造以及性能优化，并验证其在微流道系统中的应用。
任务内容：
1.综述现有压电微泵的研究进展，挖掘压电材料的优异性能在微泵领域的应用。
2.设计基于MEMS技术的无阀压电微泵，通过仿真与分析工具验证设计方案可行性。
3.制备压电材料与制造MEMS微泵器件。
4.进行性能测试与性能优化，对无阀压电微泵的性能进行分析与验证。
5.验证无阀压电微泵在微流控系统中的应用潜力，例如微液滴生成、药物输送等方面。
6.撰写完整的研究论文，并进行成果推广与交流。
任务要求：
1.具备微流体力学、MEMS器件设计、微制造以及压电材料等方面的基础知识。
2.掌握实验室常用的压电材料制备技术、微泵器件制造技术、以及微泵的性能测试方法。
3.具备较强的分析、模拟、设计、优化和实验能力。
4.具备较强的完成任务并发表论文的能力和意愿。
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