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半导体无尘车间物品搬出入基准
1.引言
半导体无尘车间是进行半导体生产的重要环节,对物品搬出入进行管理至关重要。本文将介绍半导体无尘车间物品搬出入的基准要求,并针对不同类型的物品进行分类和管理。
2.物品分类与标识
为了确保半导体无尘车间的清洁环境,对物品进行分类和标识是必要的。根据物品的性质和用途,可以将物品分为以下几类:
半导体材料:如硅片、掩膜、化学物质等
工具设备:如电子仪器、机械设备等
个人物品:如工作服、工作鞋、口罩等
清洁用品:如除尘器、拖把、清洁液等
每一类物品应当有特定的标识方法,以便于管理和追溯。可以使用颜色、形状等方式
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