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本发明的水分散液中包含的无机颗粒由晶体与无定形的小粒子的凝聚而成，并且其为球形且呈现出光滑的表面。无机颗粒的球形外观、低结晶度及窄的粒度分布更有利于减少CMP工艺中的划痕缺陷。另外，无机颗粒表面上的小粒子提供了更多的活性位点导致无机颗粒具有优异的抛光率(removalrate)，因此有利于其成为下一代CMP抛光材料。另外，本发明的水分散液还包括氨基酸，并且氨基酸吸附在氧化硅晶圆表面上，以加强氧化硅晶圆与无机颗粒之间的电吸引力，从而具有进一步提高抛光率的效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117693563A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202280034605.5(74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理
(22)申请日2022.05.
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