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本发明提供了一种钙钛矿X射线探测器集成界面应力缓释的方法，属于X射线探测器领域。所述方法包括：得到钙钛矿厚膜；将ACA胶涂覆到TFT像素基板的至少部分表面，得到含有ACA胶层的TFT像素基板；将所述钙钛矿厚膜覆盖到ACA胶层的至少部分表面，后进行退火；将所述退火后的所述钙钛矿厚膜的至少部分表面设置金属电极，得到钙钛矿X射线探测器。通过在钙钛矿厚膜和TFT阵列集成界面处引入各向异性导电胶缓冲界面应力，较传统方法有更深的相互作用深度，更好地粘附力，实现低死像元率、高空间分辨率和出色机械稳定性的X射线
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117693272A
(43)申请公布日2024.03.12
(21)申请号202311722124.6H10K71/16(2023.01)
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