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抛光液输送结构及抛光装置.pdfVIP

抛光液输送结构及抛光装置.pdf

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    本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了抛光液输送结构及抛光装置，抛光液输送结构包括旋转轴以及抛光座，旋转轴设置贯穿的第二通道，旋转轴连接外部驱动机构以被驱动旋转，而抛光座内设置有分液腔，抛光座的上端面设置有第一进液孔，旋转轴可拆卸连接于抛光座的上端面，以能够使第二通道的第二端连接第一进液孔；抛光座的下端面均匀分布若干与分液腔连通的分液孔。抛光装置包括上述抛光液输送结构以及驱动件，驱动件驱动旋转轴旋转。通过上述的旋转轴以及抛光座中的第二通道以及第三通道使抛光液能够从内部直接输送至抛光座上，使抛光

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220575620U

    (45)授权公告日2024.03.12

    (21)申请号202321328736.2

    (22)申请日2023.05.29

    (73)专利权人宁波芯丰精密科技有限公司

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