T_JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备.docxVIP

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ICS?31.260

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团 体 标 准

T/JGXH?005—2020

超快激光精密微纳加工设备

Ultrafast?laser?precision?micro??nano?machining?equipment

2020-12-30?发布 2020-12-31?实施

武 汉 激 光 学 会

武?汉?·中?国?光?谷?激?光?加?工?产?业?技?术?创?新?战?略?联?盟?发布

T/JGXH?005—2020

目 次

前言......................................................................................................................................................................... Ⅱ

1?范围...................................................................................................................................................................? 1

2?规范性引用文件...............................................................................................................................................? 1

3?术语和定义.......................................................................................................................................................? 1

4?主要技术参数...................................................................................................................................................? 1

5?技术要求...........................................................................................................................................................? 2

5.1?使用条件....................................................................................................................................................? 2

5.2?加工质量....................................................................................................................................................? 2

5.3?装配质量....................................................................................................................................................? 2

5.4?外观质量....................................................................................................................................................? 2

5.5?其他部件...................................................................................................................................................

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