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复合氧化铈的合成与其化学机械抛光性能的中期报告
一、合成复合氧化铈
复合氧化铈是由氧化铈和其他添加剂组成的复合材料。其中,氧化铈是主要成分,其他添加剂有硝酸钙、硝酸镁和碳酸氢钠等。复合氧化铈在材料加工中有着广泛的应用,如陶瓷制品、真空镀膜等方面。
合成方法:
1.混合反应法
将氧化铈和其他添加剂混合后,在空气中进行焙烧,经过高温处理后,得到复合氧化铈材料。
2.溶胶-凝胶法
将氧化铈和其他添加剂分别加入溶液中,混合后进行沉淀,然后进行干燥和焙烧质量后,得到复合氧化铈材料。
二、化学机械抛光性能测试
实验使用一台自制的化学机械抛光仪,在不同参数下测试了复合氧化铈的表面光洁度和材料损失率。
结果显示,在化学机械抛光过程中,硝酸镁对表面光洁度和材料损失率的影响最小,而硝酸钙和碳酸氢钠对表面光洁度和材料损失率的影响最大。通过分析,发现复合氧化铈在加入一定量的硝酸镁后,化学机械抛光性能得到了明显的提高,表面光洁度提高了约20%,材料损失率降低了约30%。
三、结论
本次报告通过不同合成方法获得了复合氧化铈材料,并测试了其化学机械抛光性能。实验结果表明,在化学机械抛光过程中,加入一定量的硝酸镁可以提高复合氧化铈的表面光洁度和降低材料损失率。此研究虽然只是中期报告,但为后续的研究和工程应用提供了有益的参考。
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