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对准装置(1)具备电动机(12)、旋转装置(11)、控制装置(13)以及传感器(14)。电动机(12)产生旋转驱动力。旋转装置(11)通过电动机(12)产生的旋转驱动力,在支撑芯片(30)的状态下旋转。控制装置(13)控制旋转装置(11)的旋转,进行将芯片(30)的旋转相位调整为预定值的处理。传感器(14)朝芯片(30)的边缘照射多个不同行进方向的光,且通过接收光以检测芯片(30)边缘的缺陷。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117795656A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202280043607.0(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
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