一种蚀刻药水再生装置及再生工艺.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种蚀刻药水再生装置及再生工艺.pdf

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本申请涉及一种蚀刻药水再生装置及再生工艺，其包括箱体、设置于箱体内用输送电路板的若干输送辊、用于喷射药液的若干喷嘴及驱动药液流向喷嘴的第一泵体，所述喷嘴分别设置于输送辊的上下两侧，所述第一泵体的进液口与箱体内腔连通，所述第一泵体的出液口分别与喷嘴连通；所述箱体上还设置有输入空气的空气输送机构，所述空气输送机构包括气泵、及用于过滤空气的空气过滤器，所述气泵的出气口与空气过滤器连接，所述空气过滤器的另一端与箱体内腔连通且低于药液的表面。将空气经过过滤之后通入蚀刻药水中，利用空气中的氧气对二氯化二铜进

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115287659A

(43)申请公布日2022.11.04

(21)申请号202210932867.5

(22)申请日2022.08.04

(71)申请人深圳天华机器设备有限公司

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