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节能型直流磁控溅射电源.pdfVIP

节能型直流磁控溅射电源.pdf

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    本发明属于直流磁控溅射电源技术领域，且公开了节能型直流磁控溅射电源，包括电源箱，电源箱的一侧铰接有防护门，电源箱的内部设置有电源主体，电源箱的侧壁开设有进风口，电源箱的内壁固定安装有通风板，通风板的内壁均匀开设有通风孔，通风板的两侧分别设置有卷绕组件和刮除组件；在节能型直流磁控溅射电源工作的过程中，可以通过外部电源启动电机，使卷辊在通风板的一侧移动，将从通风孔进入的絮状物进行吸附卷绕在一起，防止附着在节能型直流磁控溅射电源上，影响工作，保证了节能型直流磁控溅射电源的正常使用。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117794118A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311661974.X

    (22)申请日2023.12.06

    (71)申请人江阴市天马电源制

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