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振动元件的制造方法。能够容易地形成深度不同的第1槽和第2槽。振动元件的制造方法包含：准备工序，准备具有处于正反关系的第1面和第2面的石英基板；第1保护膜形成工序，在设石英基板的形成振动元件的区域为元件形成区域、形成第1槽的区域为第1槽形成区域、形成第2槽的区域为第2槽形成区域时，在第1面的元件形成区域上形成第1保护膜，所述第1保护膜具有与第1槽形成区域重叠的第1开口和与第2槽形成区域重叠的第2开口；以及第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜从第1面侧对石英基板进行干蚀刻，在设第1开口的宽度为Wa、第2开
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117792319A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311270753.X
(22)申请日2023.09.27
(30)优先权数据
2022-155987202
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