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一种工业机器人超精密抛光震颤式波纹误差抑制方法，包括：首先采集测量待使用工具的去除函数，再根据采集得到的去除函数频谱特征确定加工路径步距，然后根据预定步距路径，结合激光干涉仪测量得到的待加工元件的面形误差计算驻留时间分布并生成加工程序文件；随后根据加工文件及路径步距确定震颤周期，再根据设置震颤周期对加工程序进行插值并修改z值实现震颤式程序生成；最后使用具有周期震颤的程序对待加工元件进行加工。本发明无需对传统机器人小工具加工装备新增力控等附加模块，仅通过对驻留时间分布赋予周期性振动震颤，即可抑制机
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117773659A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311815330.1
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人中国科学院上海光学精密机械研究
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