原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种基板搬运系统，有助于将层叠载放于支承板部的多个基板中原本位于次上方的基板在上方为空时快速抬升到指定位置，以便进行后续处理。本发明的基板搬运系统包括：支承板部，该支承板部供基板层叠载放；支承板部升降部，该支承板部升降部驱动所述支承板部沿上下方向在第一位置与位于该第一位置的上方的第二位置之间移动；第一检测部，该第一检测部具有在所述第二位置处沿水平方向朝向所述支承板部所在的一侧照射光线的发光部和接收该发光部照射的光线的受光部；以及控制部，该控制部在所述受光部接收到从所述发光部射出的光线时，控制所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117775747A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311690334.1
(22)申请日2023.12.11
(71)申请人尼得科精密检测设备（浙江）有限公
文档评论（0）