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GJB548B-2005微电子器件实验方法和程序

点击次数：181发布时间：2011-3-114:24:07

GJB548B-2005代替GJB548A-1996

中华人民共和国国家军用标准

微电子器件实验方法和程序

Testmethodsandproceduresformicroelectronicdevice

方法1009.2盐雾(盐汽)

1目的

本实验是为了模拟海边空气对器件影响的一个加速的腐蚀实验

1.1术语和定义

1.1.1腐蚀corrosion

指涂层和(或)底金属由于化学或电化学的作用而逐渐地损坏

1.1.2腐蚀部位corrosionsite

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指涂层和(或)底金属被腐蚀的部位，即腐蚀位置

1.1.3腐蚀生成物(淀积物)corrosionproduct(dcposit)

指腐蚀作用的结果(即锈或氧化铁、氧化镍、氧化锡等)。腐蚀生成物可能在原来腐蚀

部位，或者由于盐液的流

动或蔓延而覆盖非腐蚀区域。

1.1.4腐蚀色斑corrosionstain

腐蚀色斑是由腐蚀产生的半透明沉淀物。

1.1.5气泡blister

指涂层和底金属之间的局部突起和分离

1.1.6针孔pinhole

指涂层中产生的小孔，它是完全贯穿涂层的一种缺陷。

1.1.7凹坑pitting

指涂层和(或)底金属的局部腐蚀，在某一点或小区域形成空洞

1.1.8起皮flaking

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指局部涂层分离，而使底金属显露

2设备

盐雾实验所用设备应包括：

a)带有支撑器件夹具的实验箱。该箱及其附件应彩不会与盐雾发生作用的材料(玻璃、

塑料等)制造。在实验

箱内，与实验样品接触的所有零件，应当用不产生电解腐蚀的材料制造。该箱应适当

通风，以防止产生“高压”

，并保持盐雾的均匀分布；

b)能适当地防止周围环境条件对盐溶液容器的影响。如需要，为了进行长时间实验，

可采用符合实验条件C和D(

见3.2)要求的备用盐溶液容器；

c)使盐液雾化的手段，包括合适的喷嘴和压缩空气或者由20%氧、80%氮组成的混

合气体(应防止诸如油和灰尘

等杂质随气体进入雾化器中)。

d)实验箱应能加热和控制

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e)在高于实验箱温度的某温度下，使空气潮湿的手段；

f)空气或惰性气体于燥器；

g)1倍~3倍、10倍~20倍和30倍~60倍的放大镜。

3程序

3.1实验箱的维护和初始处理

实验箱的清洗是为了保证把会对实验结果产生不良影响的所有物质清除出实验箱。使

实验箱工作在(35±3)℃

，用去离子水或蒸馏水进行必要的清洗。每当容器里的盐溶液用完时，就应当清洗实

验箱。某些实验可能在清洗

之前进行，这取决于盛盐溶液的容器的大小和所规定的实验条件(见3.2)。当需要做长

时间实验(见3.2的实验

条件C和D)时，盛盐溶液的容器可采用备用的容器来补充，以便实验不中断。清洗后，

实验箱开始工作时，盐溶

液应补满该容器，并且应对实验箱进行适当地控制，使其温度稳定(见3.1.4)。如果实

验箱中断工作超过一个

星期，即使还留有盐溶液，也应废弃。而且实验箱在重新开始工作之前应当进行清洗。

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如果盐溶液的pH值和浓度

保持在3.1.1中规定的范围之内，允许实验箱不连续工作。

3.1.1盐溶液

为了达到3.1.4所要求的淀积速率，盐溶液的浓度应为0.5%~3.0%(重量百分比)的去

离子水或蒸馏水溶液。所用

的盐应为氯化钠，其碘化钠的质量百分比不得多于0.1%，且总杂质的质量百分比不得

多于0.3%。在(35±3)℃

下测量时