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本实用新型涉及清洗机台锁定技术领域,公开了一种半导体清洗机台互锁装置,包括底座二,所述底座二顶壁固定连接有U型柱,所述U型柱顶壁固定连接有支架,所述支架底壁固定连接有放置架,所述放置架内部固定连接有电机,所述电机输出端固定连接有转动柱的一端,所述转动柱另一端固定连接有连接环,所述连接环两侧均转动连接有连杆的一端,所述连杆另一端固定连接有固定块,所述固定块内部转动连接有连接杆的一端。本实用新型中,通过连杆推动连接杆向前进行移动,在连接杆移动时推动卡板和卡柱向前移动并插入到定位柱内,达到可以快速进行
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220710264U
(45)授权公告日2024.04.02
(21)申请号202322404374.7
(22)申请日2023.09.05
(73)专利权人天津市晓川过滤设备发展有限公
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