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一种高速工温DFB激光器,该激光器的外延结构包括InP衬底,InP衬底上沉积有缓冲层,缓冲层的左上方沉积有纵向限制层;缓冲层的右上方由下往上依次沉积有光栅层、过度层、有源区下限制层、下波导层、量子阱、上波导层和有源区上限制层;纵向限制层与有源区上限制层的上端齐平且两者上方沉积一腐蚀阻挡层;腐蚀阻挡层的上方依次沉积有联接层、第一势垒渐变层、第二势垒渐变层和欧姆接触层;该激光器的表面设置有绝缘层。本发明电阻低,调制速率快,高温特性好;避免了含Al的材料暴露在水氧环境下,提高了器件的可靠性;采用大尺寸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110535032A
(43)申请公布日
2019.12.03
(21)申请号20191
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