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超声波加工速度、精度、表面质量及其影响因素Ultrasonicmachiningspeed,accuracy,surfacequalityanditsinfluencingfactors5.4
加工速度及其影响因素ProcessingspeedanditsinfluencingfactorsPart01
PART1加工速度及其影响因素加工速度概念单位时间内去除的材料量单位g／min或mm3／min最大速度加工玻璃可达2000—4000mm3／min
光工具振动频率、振幅、工具作用在工件上的静压力、磨料种类和粒度、磨料悬浮液浓度、供给及循环分式工具与工件材料加工面积和加工深度
1.工具振幅和频率的影响PART1加工速度及其影响因素低振幅频率高振幅频率可获得大的加工能量使工具和变幅杆承受很大的内应力
2.进给压力的影响PART1加工速度及其影响因素压力过小时压力过大时工具末端与工件加工表面之间的间隙增大减小了磨料对工件的撞击力和打击深度；工具与工件加工表面之间间隙减小磨料和工作液不能顺利循环更新
3.磨料种类和粒度的影响PART1加工速度及其影响因素金刚石高硬材料：金刚石宝石碳化硼硬质合金淬火钢等材料碳化硅硬度不高的脆硬材料氧化铝加工玻璃、石英、半导体等材料
PART1加工速度及其影响因素磨料悬浮液磨料悬浮液浓度太低磨料悬浮液浓度增加加工间隙内磨粒少加工而积和深度较大时可能造成加工区局部无磨料的现象加工速度大大下降加工速度随之增加4.磨料悬浮液浓度的影响
PART1加工速度及其影响因素5.工件材料的影响材料越脆承受冲击裁荷的能力愈低愈容易加工；韧性较好不易加工玻璃玻锗、硅半导体单晶石英硬质合金淬火钢不淬火钢100%200%-250%50%2%-3%大于1%小于1%
加工精度及其影响因素Mechanism,equipmentandapplicationofECMPart02
超声波加工的精度PART2加工精度及其影响因素加工精度机床与夹具精度磨料粒度、工具精度及其磨损程度工具在横向振动的大小加工深度被加工材料性质等因素
PART2加工精度及其影响因素加工精度超声波加工的精度孔径范围为0.1~90mm深度可达直径10~20倍以上
PART2加工精度及其影响因素加工精度超声波加工的精度对于加工圆形孔，性质误差主要有椭圆度和锥度。椭圆度大小和工具横向振动大小和工具沿圆周磨损不均匀有关。锥度大小和工具磨损有关。采用工具或工件旋转的方法可以提高孔的圆度和生产率。当工具尺寸一定时，加工孔的尺寸比工具尺寸有所扩大
表面质量及其影响因素SurfacequalityanditsinfluencingfactorsPart03
PART3表面质量及其影响因素表面粗糙度表面质量较好，不会产生表面烧伤和表面变质层每颗磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小磨粒的直径被加工材料的性质超声波振动的振幅磨料悬浮工作液的成分
PART3表面质量及其影响因素磨粒尺寸较小工件材料较硬超声波振幅较小时用煤油或润滑油代替水可使表面粗糙度有所改善加工表面粗糙度Ra值较小生产率也随之降低
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