激光器和激光相关设备 激光光学元件吸收分布测量 光热成像法.pdfVIP

目次

1范围1

2.规范性引用文件1

3.术语和定义1

4.使用符号和量度单位1

5.测量方法2

5.1测量原理2

5.2测量光路和测试仪器3

5.3测试样品准备7

6测试程序7

6.1概述7

6.2光热信号幅值与相位测量8

6.3光热信号幅值和相位分布测量8

6.4光热信号幅值的标定9

6.5测量结果评估10

7结果评定11

7.1吸收的光热测量11

7.2吸收率的光热标定12

7.3吸收的二维/三维分布成像测量13

7.4成像区域和空间分辨率14

8测试报告14

附录A（资料性）标定的理论和实际考虑16

附录B（资料性）表面吸收和体吸收的分离18

附录C(资料性)测试报告20

激光器和激光相关设备激光光学元件吸收分布测量

方法光热成像法

1范围

本文件规定了激光光学元件的吸收测量和高空间分辨二维/三维扫描吸收分布成像测量

的测试要求、测试系统、测试程序、数据采集和处理方法以及吸收率标定方法。

本文件适用于光学激光元件二维/三维吸收分布成像测量，即测量吸收与位置的函数，

可用于高功率/高能激光系统中的大口径光学元件的吸收缺陷/吸收分布检测。

2.规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期

的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括

所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3102.6-1993光及有关电磁辐射的量和单位；

GB/T15313-2008激光术语；

GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等

级

3.术语和定义

GB/T15313界定的以及下列术语和定义适用于本标准。

3.1

吸收absorption

激光光学元件吸收的辐射通量。

3.2

吸收率absorptance

吸收辐射通量与输入辐射通量的比值。

3.3

吸收分布absorptiondistribution

吸收率分布absorptancedistribution

测量的吸收（3.1）/吸收率（3.2）与样品位置的函数。

4.使用符号和量度单位

表1界定了文件中出现的符号的含义和单位（若涉及）

表1使用符号和量度单位

符号单位含义

A被测样品的吸收率

A0标定样品的吸收率

S被测样品的光热信号幅值

1

S0标定样品的光热信号幅值

P，P0W泵浦激光功率

ΔI,I0光热透镜中探测到的探测光强变化和直流探测光强度

I，I光热偏转中双单元探测器中的两个光探测器探测的探测光强

12

2-1

Dms被测样品的热扩散系数

Δφ(x,y)光热引起的探测光的光学相移

αthK-1被测样品的线性热膨胀系数

d/dK-1被测样品的折射率温度系数

nT

v被测