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本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种控制系统及半导体检测设备。该控制系统包括第一控制器、第二控制器、第三控制器以及偏置电源；所述第一控制器用于发出时钟信号，所述第二控制器设置为能够接收所述第一控制器发出的时钟信号以发出第一扫描信号，所述第三控制器接入偏置电源并设置为能够接收所述第一控制器发出的时钟信号以发出第二扫描信号。偏置电源给第三控制器提供了偏置电压，如此经由第三控制器输出的第二控制信号具有电压偏置，在电子束扫描晶圆过程中，通过具备电压偏置的第二控制信号及第一控制信号实现对电子束流轨
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220820493U
(45)授权公告日2024.04.19
(21)申请号202322801201.9
(22)申请日2023.10.18
(73)专利权人东方晶源微电子科技（北京）股份
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