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一种单晶炉电极检漏用隔离装置,包括隔离筒和配合使用的隔离盖,将所述隔离筒安装到不锈钢电极上,隔离筒底部沿中心线对称设有第二密封环,通过螺帽将第二密封环完全贴紧炉底盘不锈钢密封面。隔离筒和隔离盖配合使用将除电极外的其余部件隔离密封起来,进行检测时可以快速确定是电极漏气还是隔离部分漏气,即可以快速排查漏气电极,快速修复故障原因,提高工作效率,做到提产增效的目的。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220819328U
(45)授权公告日2024.04.19
(21)申请号202322205532.6
(22)申请日2023.08.16
(73)专利权人麦斯克电子材料股份有限公司
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