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2024-04-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种基板成槽设备，包括基座，基座上安装有操作平台、支架和CCD机器视觉系统，操作平台用于驱动治具带动其上的基板沿X向或Y向移动；支架上安装有位于操作平台上方的悬臂，悬臂上安装有间隔设置的激光发射器、光学整形装置和振镜切割头；CCD机器视觉系统安装于悬臂，CCD机器视觉系统具有朝向加工位置的图像采集端。本实用新型通过操作平台、激光发射器、光学整形装置、振镜切割头和CCD机器视觉系统对基板进行成槽加工，确保了经振镜切割头射出至基板的光束质量，可加工深度为0.7mm以下的成型槽，控制加

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220805886U

(45)授权公告日2024.04.19

(21)申请号202322491938.5

(22)申请日2023.09.13

(73)专利权人东莞市芯恒智能装备有限公司

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