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深紫外-可见微区吸收光谱测试显微镜使用说明
管理员:黄贵龙黄永强
基本曲线定义:
样品透射曲线:光源透过样品后被光谱仪收集到的曲线。
衬底透射曲线:光源透过衬底后被光谱仪收集到的曲线(可以样品旁空白区域、空衬底)。
样品反射曲线:光源被样品反射后光谱仪收集到的曲线。
衬底反射曲线:光源被衬底反射收集的曲线(可以是样品旁区域、空衬底)。
反射镜反射曲线:光源经过标准反射镜反射收集的曲线。
反射镜反射率:标准反射镜的反射率。从校准文件中读取。
暗背景:阻挡所有光源到达光谱仪,光谱仪测量环境本身得到的曲线,用于扣除影响。
基本数据处理方法:
透射光谱:样品透过光强与衬底透过光强的比值。
反射光谱:a、样品反射光与衬底反射光比值。b、样品反射光与反射镜反射光比值。
相对吸收光谱(差分透射、差分反射):样品与衬底透射曲线(或反射曲线)的差值除以衬底的透过曲线(或反射曲线)。样品厚度需要小于10nm、均一透明。
绝对吸收光谱:1-T(透射率)-R(反射率),样品厚度300nm以内、双抛透明均一。
偏振吸收光谱:旋转偏振片改变透射光偏振方向,分别测量相对吸收(差分透射)光谱。
光谱计算需要收集的数据:
透射光谱
反射光谱
相对吸收(透射)
相对吸收(反射)
绝对吸收
样品透射曲线
?
?
?
衬底透射曲线
?
?
?
样品反射曲线
?
?
?
衬底反射曲线
?(部分)
?
?
反射镜反射曲线
?(部分)
?
反射镜反射率
?
暗背景
?
?
?
?
?
曲线命名处理(参考命名方式,方便分辨):
原始数据
计算结果
样品透射曲线
Sample-t-XX
样品透射光谱
Sample-t-XX
衬底透射曲线
Back-r-XX
样品反射光谱
Sample-r-XX
样品反射曲线
Sample-t-XX
样品相对吸收(透射)
Sample-ABS-DiffT-XX
衬底反射曲线
Back-r-XX
样品相对吸收(反射)
Sample-ABS-DiffR-XX
反射镜反射曲线
Backm-XX
样品绝对吸收
Sample-ABS-Tot-XX
反射镜反射率
UVAL
偏振吸收光谱10°
ABS10
暗背景
Dark-XX
偏振吸收光谱350°
ABS350
*Sample可替换为测试样品的标识,XX为光谱仪标识(如UV、NIR)
开机顺序:
总电源(机架后面板)-LED指示灯光源-光谱仪控制器-NIR光谱仪-电脑主机-刷卡-开软件
相机软件操作:
打开软件ImageVIew,点击相机列表
显微镜操作:
将样品放置样品台,打开照明光源聚焦清楚(反射光路6圆指示灯清晰),调节聚焦物镜底座XYZ轴,使透射光斑聚焦清楚并与6圆重合。
反射光路理想聚焦情况透射光路理想聚焦情况
非理想聚焦情况(左Z偏离,右XY偏离)拨杆位置
透反射光谱测试各个拨杆挡位(如图、表)
测量方式
UV-VIS透射
UV-VIS反射
NIR透射
NIR反射
透射光快门
开
关
开
关
落射照明器
DF(空挡)
DF(空挡)
DF(空挡)
DF(空挡)
成像光路
Empty
Empty
Empty
Empty
反射入光光路(转盘)
空挡
VIS
空挡
NIR
光谱收集(UV-VIS)
Fiber
Fiber
Empty
Empty
光谱收集(NIR)
Empty
Empty
Fiber
Fiber
关闭LED指示灯,成像所有光路打至Empty、空挡,光谱仪分别采集暗背景,扣除暗背景
设备选择对应光谱仪,挡位选择如上表所示。选择光谱测试平均次数100次单次采谱,分别采集样品、亮背景透反射光谱。偏振光测试选择角度及角度差,同理测试。
选择计算类型,选择已测试好的数据源光谱,代入计算即可。
测试完成,刷卡下机,关机顺序与开机顺序相反。
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