固体材料光谱学.ppt

椭偏仪的发展趋势

1.寻找较高强度的红外光源,拓宽椭偏仪的光谱范围,以准确确定异质结构的多层膜结构;2.建立包含成像椭偏仪的校准因素的系统模型,以减小成像椭偏仪的测量误差;3.对半导体工业常用薄膜材料建立准确的物理模型,以减小系统的计算误差;4.引入能够同步进行数据获取和数据处理的控制系统,并利用优化算法,较快得出薄膜系统待求参量,以提高椭偏仪的测量速度,增强椭偏仪的在线检测和控制功能。第31页,共34页，2024年2月25日，星期天参考文献[1]Z.G.HuandP.Hess,Opticalconstantsandthermo-opticcoefficientsofnanocrystallinediamondfilmsat30–500°C,Appl.Phys.Lett.89,081906(2006)[2]Z.G.Hu,InfraredopticalpropertiesofBi3.25La0.75Ti3O12ferroelectricthinfilmsusingspectroscopicellipsometry,J.Phys.D:Appl.Phys.35(2002)3221–3224[3]Z.G.Hu,StructureandOpticalPropertiesofFerroelectricPbZr0.40Ti0.60O3FilmsGrownonLaNiO3-CoatedPlatinizedSiliconDeterminedbyInfraredSpectroscopicEllipsometry,J.Phys.Chem.C2008,112,9737–9743[4]余平,张晋敏椭偏仪的原理和应用JournalofHefeiUniversity(NaturalSciences)Feb.2007Vol.17No.1[5]莫党.固体光学[M].北京:高等教育出版社,1996:135-141[6]黄宗卿.固体表面分析的光学方法——椭圆法[J].科学(中文版)-1993年7期[7]方容川.固体光谱学[M].安徽:中国科学技术大学出版社,2003:29-39[8]魏权.TiO2薄膜的椭圆偏振光谱研究[J].稀有金属材料与工程,第36卷2007年9月[9]陈良尧.现代椭圆偏振光谱学研究和进展[J].物理-1995年2期第32页,共34页，2024年2月25日，星期天QUESTION?

THANKYOU!第33页,共34页，2024年2月25日，星期天感谢大家观看第34页,共34页，2024年2月25日，星期天关于固体材料光谱学固体光谱简介透射和反射光谱椭圆偏振光谱主要内容第2页,共34页，2024年2月25日，星期天光谱发展历史人们对光谱的研究已有三百多年的历史了。1666年，牛顿把通过玻璃棱镜的太阳光分解成了从红光到紫光的各种颜色的光谱，他发现白光是由各种颜色的光组成的。这是可算是最早对光谱的研究。第3页,共34页，2024年2月25日，星期天固体光谱学(SolidStateSpectroscopy)是关于光和凝聚态物质相互作用的一门学科。光谱是电磁辐射按照波长(能量)的有序排列，根据实验条件的不同，各个辐射波长(能量)都具有各自的特征强度。通过光谱的研究，人们可以得到原子、分子等的能级结构、弛豫时间、电子的组态、分子的几何形状等多方面物质结构的知识。固体光谱学第4页,共34页，2024年2月25日，星期天透射光谱和反射光谱固体光谱学包括固体的吸收、反射、发光和透射光谱。不同材料对光都有不同程度的反射和透过，即使对同一种材料，对不同的波段的光，反射和透射特性也可能不相同。透射率T与入射光频率ω之间的关系叫做透射光谱。第5页,共34页，2024年2月25日，星期天反射透射示意图反射系数：反射率：将电矢量分解为垂直入射面分量En和平行于入射面的分量Ep第6页,共34页，2024年2月25日，星期天透射光谱第7页,共34页，2024年2月25日，星期天反射光谱第8页,共34页，2024年2月25日，星期天椭圆偏振光谱基于材料对光的反射，发展起一些测量光学常数的方法，例如椭圆偏振光谱等。椭圆偏振光谱学(SpectroscopicEllipsometry)是一种以椭圆偏振光测量为基础的光谱技术，简称椭偏光谱学，缩写为SE。SE是通过光在样品表