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本发明公开了一种植入阻尼器的芯片封装结构及其封装方法,属于半导体芯片封装技术领域。其控制芯片(40)通过金属引线Ⅱ(45)与基板(10)直接键合;基板(10)的另一侧的下半部分设有基板通孔(15),阻尼器(20)的底部设有阻尼器开口(22),阻尼器开口(22)与基板通孔(15)对准;传感芯片(30)固定于阻尼器(20)的上方,且与控制芯片(40)通过金属引线Ⅰ(35)完成电气连通,控制芯片(40)再通过金属引线Ⅱ(45)将电信号传导至基板(10);控制芯片(40)、阻尼器(20)、传感芯片(30
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110085580A
(43)申请公布日
2019.08.02
(21)申请号20191
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