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Si衬底上GaN基材料MOCVD生长及HEMT性能分析的开题报告
引言
随着电子设备的普及和科技的进步，人们对微电子器件的发展提出了更高的要求。在微电子领域中，高电子迁移率晶体管（HEMT）作为一种重要的电子器件，已经得到广泛的应用。HEMT具有高速、高增益、低噪声等优点，在通信、军事、微波等领域中有着广泛的应用前景。而GaN基材料作为HEMT的主要材料之一，具有高结晶质量、优异的物理性能、热稳定性好等优点，已经成为HEMT领域中的研究热点之一。
本研究主要针对GaN基材料的生长工艺及其在HEMT器件中表现出的性能进行探究，以期为GaN基材料的制备及其在微电子领域的应用提供技术支持。
研究内容
1.GaN基材料的生长工艺
目前，GaN基材料的生长技术主要分为金属有机化学气相沉积（MOCVD）、分子束外延（MBE）和氮化物物理气相沉积（PVD）等。本研究将主要以MOCVD技术生长GaN基材料，并对其生长条件进行优化。
2.GaN基材料的表征
对生长好的GaN基材料进行表征，主要包括X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）等手段，以评估其结构、形貌和表面粗糙度等性能。
3.GaN基材料在HEMT器件中的应用
通过将生长好的GaN基材料制备成HEMT器件，并对其电学参数进行测试，包括漏电流、门电流和输出电阻等参数的测定，以评估其在微电子领域中的应用前景。
预期结果
通过对GaN基材料的生长工艺及其在HEMT器件中的性能进行探究，本研究预计得到以下结果：
1.针对MOCVD生长技术进行优化，得到生长条件最优的GaN基材料；
2.经XRD、SEM和AFM等手段对生长好的GaN基材料进行表征，得到其结构、形貌和表面粗糙度等性能；
3.利用生长好的GaN基材料制备成HEMT器件，并进行电学参数测试，评估其在微电子领域中的应用前景。
参考文献
1.Chen,W.,Detchprohm,T.,Tansu,N.(2012).PhysicsandapplicationsofGaN-basedvertical-cavitysurface-emittinglasers.JournalofPhysicsD:AppliedPhysics,45(19),193001.
2.Mishra,U.K.,Parikh,P.,Wu,Y.F.(2002).AlGaN/GaNHEMTs-anoverviewofdeviceoperationandapplications.ProceedingsoftheIEEE,90(6),1022-1031.
3.Sun,Y.,Li,X.(2019).CurrentstatusandprospectsofGaN-basedhighelectronmobilitytransistors.ChineseJournalofSemiconductors,40(12),120001.
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