长度计量器具检定系统框图.docx

长度基准

r计 U=1.3×10-10～4×10-9

r

量基准

相互比对

比较测量

长度副基准

rU=1.3×10-10～4×10-9

r

工作基准器使用的光谱线：

器

量块长度测量装置 ～1000

具 U=（0.02+0.l1）

直接测量

He-Ne，86Kr，114Cd，113Hg，Kr，He，Cd·工作基准量块组（钢）1，50，100，500，1000

U=（0.02+0.l1）

U=0.5×10-7～1×10-7

r工作基准量块组（石英）5，50，100，500，1000

r

U=（0.02+0.l1）

1等量块0.5～1000

U=（0.02+0.l1）

直接测量

直接 测量

比较

2等量块0.5～1000

U=（0.05+0.l5）

直接 测量

比较

计 3等量块0.5～1000

U=（0.10+1l）

量

标 直接

比较 测量

准

器 4等量块0.5～1000

具 U=（0.20+2l）

直接 测量

比较

5等量块0.5～1000

U=（0.5+5l）

直接 测量

比较

0.01,0.02

公法线千分尺杠杆

杠杆千分尺校对

测微仪检定器

6等量块0.5～1000

U=（2.0+12l）

0.5μm杠杆齿轮式

1μm测长机

0.2μm光学计

量块长度测量的

00级量块

带表卡尺0～300

25～125

量杆 25～75

0～1μm

比较仪

0～1000,2000,6000

△=

干涉仪～1000

～1000

△=20

△=2～2.5

△=0.5

△=0.1

△=0.25～0.5

△=(0.5+1l0)

(0.05+0.0025A)

△=(0.02+0.l2)

△=(0.05+l1)

0.05带表卡尺

0～300

△=50

公法线千分尺

0～150

△=5～6

0级千分尺校对量杆 25～75

△=1～1.5

1μm测微仪

△=0.5

1μm杠杆齿轮式比较仪

△=0.5～1

1μm立式测长仪

0～100

△=(1+10l)

1μm立式光学计

△=(0.2～0.25)

量块长度测量的干涉仪～100

△=(0.02+0.l2)

0级量块

～1000

△=(0.1+2l)

工

0.02游标卡尺0～1000

△=20～70

内测千分尺校对量具

△=3

1级千分尺校对量杆 25～475

△=2～5

2μm测微仪

△=1

2μm杠杆齿轮式比较仪

△=1～2

1μm卧式测长仪

0～100

△=(1+5l)

1μm卧式光学计

△=(0.2～0.25)

量块长度测量的干涉仪～100

△=(0.03+0.l5)

K级量块

～1000

△=(0.2+4l)

作

计 0.05游标卡尺0～1000

△=50

△=50～125

0.05游标高度尺

△=3

0.01内测千分尺

△=2

1级千分尺

△=2～2.5

千分表检定仪

△=1～2

5μm杠杆式卡规

△=0.6

0.1,1,1μ0m电感

△=0.1～0.5

1μm

△=(0.03+0.l5)

立式接触干涉比较

△=(0.2+4l)

2级量块

0～2000

～50

0～500

0～2

0～150

比较仪2,20,20μ0m

扭簧比较仪

仪△= △λ)

～1000

△=50～200

△=8

△=4～10

△=1～1.5

△=2.5～5

△=0.1～5

△=0.4～1

(0.03+1n5iλ

△=(0.4+8l)

0.1游标卡尺

0.01壁厚千分尺

0.01深度千分尺

百分表检定器

1.2μm杠杆千分尺

气动浮标式测量仪

2μm

卧式接触干涉比较

3级量块

0～1000

0～25

0～150

0～25

0～100

0.014～0.09

扭簧比较仪

仪△= △λ)

～1000

△=100～150

△=8

△=5～10

△=4

△=2～6

△=0.4～2

△=0.8～2

(0.03+1n5iλ

△=(0.8+1l6)

0.1游标高度尺

0.01百分表式卡规

0.01板厚千分尺

塞尺

10μm内径千分尺

气动指针式测量仪

5,10μm

0～2000

0～1000

0～25

0.02～1

50～5000

0.05～0.4

扭簧比较仪

△=150～250

△=10～25

△=4～8

△=3～16

△=6～70

△=1

△=2～5

0.01带表千分尺0～100

级千分尺

0～100

5,10μm测微仪

2μm杠杆式卡规

0～150

工具显微镜标尺

0～2

0.1,0.2,0.μ5m

扭簧比较仪

量块长度测量的干涉仪100～1000

级量块

～1000

图4－3量块检定系统框图

注：1.图中符号说明：

rU——测量结果总的相对不确定度（量信限）；U——测量结果总的绝对不确定度或称总不确定度（置信限1