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本发明公开了一种高灵敏度微型光离子化传感器，包括电离室主体和内嵌筒以及电极板，所述的电离室主体为形成有电离腔的块状结构，电离腔的顶部设置有形成进气口的外套盖，侧部形成有排气口，底部形成有入光孔，所述的内嵌筒可匹配地嵌设在所述的电离腔内并与所述的排气口处对应地设置有过孔，所述的电极板被定位在所述的内嵌筒的内腔中。波浪型电极板的设计增加了带电粒子与极板的接触面积，将整个电离部分内置在一个密封的腔内保证了电离室的密封，能够提高电离效率，减小电离产生的本底电流，进而提高光离子化传感器的灵敏度、重复性以及
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108614029A
(43)申请公布日
2018.10.02
(21)申请号20181
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