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沉积设备和使用该沉积设备制造显示装置的方法.pdfVIP

沉积设备和使用该沉积设备制造显示装置的方法.pdf

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    公开了一种制造显示装置的方法和一种制造显示装置的沉积设备。所述方法可以包括：在沉积设备的腔室的内部空间中设置目标基底；将包括彼此结合的有机材料和沉积材料的第一材料沉积在目标基底上以形成初始沉积层；执行初始分解步骤以去除有机材料；以及执行分解步骤以去除剩余在初始沉积层中的有机材料并且形成沉积层。初始分解步骤可以包括对初始沉积层进行加热，并且分解步骤可以包括将包含有机溶剂的第二材料喷射到初始沉积层上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111041453A

    (43)申请公布日

    2020.04.21

    (21)申请号20191

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